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中山大學獨創「超臨界流體技術」 獲日本第一半導體商東京威力唯一投資
2022/5/6
中山大學物理系講座教授張鼎張獨創「超臨界流體低溫缺陷鈍化技術」,吸引日本第一大半導體設備商東京威力與台灣友達青睞。

 【記者周葉/高雄報導】中山大學物理系講座教授張鼎張獨創「超臨界流體低溫缺陷鈍化技術」,有望助攻半導體突破良率瓶頸,師生團隊成立奈盾科技公司,除獲科技部價創計畫補助,更吸引日本第一大半導體設備商東京威力與台灣友達青睞,成為東京威力在台唯一投資的新創公司。
 張鼎張指出,超臨界流體是一種物質狀態,有較好的滲透性和較強的溶解力,廣泛應用於萃取技術,將其作為萃取劑,常見包括萃取咖啡因,製造保養品、營養補充品與清潔劑等。
 張鼎張強調,在半導體尺寸微縮的趨勢下,舊有技術無法解決諸多缺陷,具高反應性、高滲透性、低表面張力三大優勢的超臨界流體,既氣體又液體,運用在電子元件上,讓元件性能與可靠度大幅提升。
 雖然成立公司是個意外,但代表15年的努力有了成果,目前測試很多公司提供的樣本都有效果,技術產業化的曙光顯現,這是一個很好的契機,未來團隊還要把這新技術繼續發光發熱。

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